无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中，2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求，4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵，5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。

图3-81为干式旋片真空泵的工作原理图　　干式旋片泵的转子偏心地置于泵壳内，上端靠近泵壳内，形成进排气口间的密封。当电机带动转子转动时，旋片在离心力的作用下贴紧泵腔的内壁。在泵体内形成多个空腔，进气口侧的空腔容积，随转子的转动而增加产生真空而吸气；排气口侧的空腔容积随转子的转动而缩小，产生压力而排气。　　由于干式旋片泵在无油状态下工作，所以旋片材料需具备自润滑功能。目前，国内外一般采用碳素材料；同时也因其无油，为减少气体的泄漏，该泵采用多个旋片结构。。

　　XG-6型干式旋片真空泵技术性能见表3-115　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安装尺寸见表3-116。。

干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙。因此，泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。而日前，一种全新型干式螺杆真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用国产车床替代价格昂贵的国外设备生产出螺杆转子，不仅节能30%，还具有设备易损件少、真空度高、抽速大、使用寿命长等特点，可在冶金、电子、石油化工、航空航天等100多个领域替代进口产品。　　。

可从10^5Pa（1大气压）抽到10^-2Pa在结构上采用径向流和轴向流复合式结构，多级串联这种涡轮式干泵的极限压力约为10^-2Pa，抽速为0.02msup3，/smdash，0.15msup3，/s牵引型干泵也属于动量传输式干式泵。　　这些干式泵和油封式机械泵相比，在各自的极限压力条件下，其残余气体成分全然不同。分析结果表明，油封泵的残余气体，主要成分为CnHm（碳氢化合物），而于式泵的残余气体的主要成分为空气，这就证实了用干式泵抽气基本上不被油蒸气污染。　　有些干式泵在结构设计上（例如泵的传动齿轮和轴承等）仍在使用润滑油，也有用合成油如PFPE油和其它油脂，不过采取一定的措施可使油蒸气在泵腔内几乎不存在。严格来说这种泵不是全无油泵。经分析，这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的，对大多数电子产业来讲并无影响。　　干式真空泵按转子接触与否又可分为非接触型（罗茨式、爪式、螺杆式）和接触式（叶片式、凸轮式、活塞式）两类。非接触型的泵可以高速旋转，但z*大压缩比小。接触型的泵转速不能太高，但z*大压缩比大，尤其在大气压附近，因返流变小使后者的压缩比为前者的5倍～8倍。另外，干式真空泵的转速越高，其压缩比越大，因此非接触型干式真空泵的转速多为3000r/min。

国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。