在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求，4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵，5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

因此，泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点而日前，一种全新型干式螺杆真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用国产车床替代价格昂贵的国外设备生产出螺杆转子，不仅节能30%，还具有设备易损件少、真空度高、抽速大、使用寿命长等特点，可在冶金、电子、石油化工、航空航天等100多个领域替代进口产品。　　。

接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

图3-81为干式旋片真空泵的工作原理图　　干式旋片泵的转子偏心地置于泵壳内，上端靠近泵壳内，形成进排气口间的密封。当电机带动转子转动时，旋片在离心力的作用下贴紧泵腔的内壁。在泵体内形成多个空腔，进气口侧的空腔容积，随转子的转动而增加产生真空而吸气；排气口侧的空腔容积随转子的转动而缩小，产生压力而排气。　　由于干式旋片泵在无油状态下工作，所以旋片材料需具备自润滑功能。目前，国内外一般采用碳素材料；同时也因其无油，为减少气体的泄漏，该泵采用多个旋片结构。。

　　XG-6型干式旋片真空泵技术性能见表3-115　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安装尺寸见表3-116。。

分析结果表明，油封泵的残余气体，主要成分为CnHm（碳氢化合物），而于式泵的残余气体的主要成分为空气，这就证实了用干式泵抽气基本上不被油蒸气污染　　有些干式泵在结构设计上（例如泵的传动齿轮和轴承等）仍在使用润滑油，也有用合成油如PFPE油和其它油脂，不过采取一定的措施可使油蒸气在泵腔内几乎不存在。严格来说这种泵不是全无油泵。经分析，这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的，对大多数电子产业来讲并无影响。　　干式真空泵按转子接触与否又可分为非接触型（罗茨式、爪式、螺杆式）和接触式（叶片式、凸轮式、活塞式）两类。非接触型的泵可以高速旋转，但z*大压缩比小。接触型的泵转速不能太高，但z*大压缩比大，尤其在大气压附近，因返流变小使后者的压缩比为前者的5倍～8倍。另外，干式真空泵的转速越高，其压缩比越大，因此非接触型干式真空泵的转速多为3000r/min。　　各种干式真空泵的极限压力、特点见表3-114。　　一般对干式真空泵的要求为：①清洁；②安全；③耐磨；④造价低；⑤维修方便；⑥性能稳定；⑦振动小，噪声低。只有这样，干式真空泵才有使用和推广的价值。